成膜(CVD・PVD)

シリコン窒化膜(Si3N4)の用途として正しいものはどれか。

  1. Aゲート電極や配線の主材料
  2. BLOCOSの酸化マスク、CMPのストッパー、表面の保護膜(パッシベーション)
  3. Cフォトレジストの代わり
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正解：B. LOCOSの酸化マスク、CMPのストッパー、表面の保護膜(パッシベーション)

シリコン窒化膜は酸素や水分を通しにくく、硬いため、選択酸化(LOCOS)のマスク、STI形成でのCMPストッパー、チップ表面を水分や可動イオンから守るパッシベーション膜などに使われます。エッチングのストッパーやハードマスクとしても使われます。

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