電極をつくらずに、ウエハの表面にコロナ放電で電荷を載せ、表面電位の変化を測って酸化膜や界面の電気的な特性を評価する方法はどれか。

正解：C. コロナ帯電を使った非接触の電気的評価(COCOSなど)

コロナ放電でウエハ表面に電荷を載せ、ケルビンプローブで表面電位を非接触で測ると、MOS構造をつくらなくても、酸化膜の厚さや電荷、界面準位、リーク特性などを評価できます。ゲート電極をつくる必要がないため、製造ラインの中での監視に使われます。

• A. 四探針法は抵抗率を測る接触式の方法です。
• B. X線回折は結晶構造を調べる方法です。
• C. 正しい。コロナ帯電と表面電位の測定で評価します。