ウエハ表面の微量な金属汚染の分析によく使われる方法はどれか。

正解：A. 全反射蛍光X線分析(TXRF)

TXRFは、X線をウエハ表面にごく浅い角度で入射させて全反射させ、表面付近の原子から出る蛍光X線を測定する方法です。表面だけを高感度に分析できるため、洗浄工程の評価など、ウエハ表面の微量な金属汚染の管理に使われます。