TXRF(全反射蛍光X線分析)とは
てぃーえっくすあーるえふ
X線をウエハの表面すれすれに当てて全反射させ、表面の微量な金属汚染から出る蛍光X線を高感度に測る分析法。
この用語の分野: 計測・分析
解説の中の「TXRF(全反射蛍光X線分析)」
回収した液をICP-MSや全反射蛍光X線(TXRF)で分析すると、ウエハ全面の金属汚染を10⁸〜10⁹ atoms/cm²程度の感度で測定できます。
ウエハ表面の金属汚染を高感度に分析するため、フッ酸の蒸気で表面の酸化膜を溶かし、液滴で回収して分析装置にかける前処理の…TXRFは、X線をウエハ表面にごく浅い角度で入射させて全反射させ、表面付近の原子から出る蛍光X線を測定する方法です。
ウエハ表面の微量な金属汚染の分析によく使われる方法はどれか。
「TXRF(全反射蛍光X線分析)」が出てくる問題(2問)
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