計測・分析

シリコン中の格子間酸素の濃度の測定に使われる方法はどれか。

  1. A4探針法
  2. BEDX
  3. C赤外吸収(FTIR)法
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正解：C. 赤外吸収(FTIR)法

シリコン中の格子間酸素は、特定の波数の赤外光を吸収します。FTIRでその吸収の強さを測ることで、酸素濃度を非破壊で求められます。CZウエハの酸素濃度の管理に広く使われており、炭素などの濃度の測定にも使われます。

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