計測・分析

X線を照射して放出される光電子のエネルギーから、表面の元素と化学結合状態を調べる分析法はどれか。

  1. A原子間力顕微鏡(AFM)
  2. BXPS(X線光電子分光法)
  3. C4探針法
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正解：B. XPS(X線光電子分光法)

XPSは、X線を当てて表面から飛び出す光電子のエネルギーを測り、元素の種類と、酸化しているかなどの化学結合状態を調べる方法です。表面の数nm程度の情報が得られるため、薄膜や界面、表面処理の評価に使われます。

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