什麼是SEM(掃描式電子顯微鏡)
以聚焦得很細的電子束掃描試樣表面，偵測放出的二次電子等，觀察表面形狀的顯微鏡。可觀察光學顯微鏡看不到的數nm結構。
日文名稱: SEM(走査電子顕微鏡)
這個名詞所屬的領域: 量測與分析
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四點探針法 缺陷檢測設備 橢圓偏光術 AFM(原子力顯微鏡) CD-SEM(臨界尺寸掃描式電子顯微鏡) EDX(能量色散X射線光譜) FIB(聚焦離子束) SIMS(二次離子質譜法) TEM(穿透式電子顯微鏡) TXRF(全反射X射線螢光分析)
以聚焦得很細的電子束掃描試樣表面，偵測放出的二次電子等，觀察表面形狀的顯微鏡。可觀察光學顯微鏡看不到的數nm結構。
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