量測與分析
光學顯微鏡無法直接觀察數十nm的微細圖案,主要的理由是下列何者?
- A因為有光的繞射造成的解析度極限(約為光的波長左右)
- B因為光學顯微鏡不會有顏色
- C因為光學顯微鏡太暗
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正確答案:A. 因為有光的繞射造成的解析度極限(約為光的波長左右)
光學顯微鏡的解析度受光的繞射限制,大約為0.61λ/NA(λ為波長,NA為數值孔徑)。可見光的波長約為400~700 nm,因此即使在最佳條件下,極限也在200 nm左右,無法分辨數十nm的圖案。因此會使用波長短得多的電子束的SEM或TEM。這不是亮度或顏色的問題。