量測與分析 與SEM或TEM組合使用的EDX（能量色散X光能譜術），可得知下列何者？ A表面的粗糙度 B試片所含元素的種類與含量 C膜的內部應力 查看答案與解析 正確答案：B. 試片所含元素的種類與含量 照射電子束到試片時，內層電子被擊出，外層電子落入該處時會放出各元素特有能量的特徵X光。EDX分析其能量，以調查元素的種類與含量。由於可當場得知在電子顯微鏡下所見位置的組成，廣泛用於異物與不良處的分析。偵測極限約為0.1 wt%左右，微量雜質的分析則使用SIMS等。