量測與分析
關於半導體製造線中「量測」與「檢測」的一般差異，下列何者正確？
- A量測是量取尺寸或膜厚等的數值，檢測是尋找異物或圖案缺陷等的異常
- B量測與檢測是完全相同的意思
- C量測只靠人眼，檢測只靠設備進行
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正確答案：A. 量測是量取尺寸或膜厚等的數值，檢測是尋找異物或圖案缺陷等的異常
在製造線中，會區分使用「量測」與「檢測」：「量測」是在固定的點位定量地量取線寬、膜厚、疊對等的數值；「檢測」則是從晶圓的廣大範圍中找出異物，以及圖案缺損、橋接等的異常。也會進行相互配合，將檢測發現的位置以檢視用SEM或量測設備詳細調查。兩者都是為了及早掌握製程的狀態、減少不良。
- A. 正確。量測是量取數值，檢測是尋找異常。
- B. 兩者目的不同，使用的設備也不同。
- C. 兩者主要都是以專用設備進行。