什麼是CD-SEM(臨界尺寸掃描式電子顯微鏡)
用來測量圖案線寬(CD)的掃描式電子顯微鏡。用於微影與蝕刻後的尺寸管理。
日文名稱: CD-SEM
這個名詞所屬的領域: 量測與分析
相關名詞
四點探針法 缺陷檢測設備 橢圓偏光術 AFM(原子力顯微鏡) EDX(能量色散X射線光譜) FIB(聚焦離子束) SEM(掃描式電子顯微鏡) SIMS(二次離子質譜法) TEM(穿透式電子顯微鏡) TXRF(全反射X射線螢光分析)
用來測量圖案線寬(CD)的掃描式電子顯微鏡。用於微影與蝕刻後的尺寸管理。
日文名稱: CD-SEM
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