SEM(走査電子顕微鏡)란?
せむ
細く絞った電子線で試料の表面を走査し、出てくる二次電子などを検出して表面の形状を観察する顕微鏡。光学顕微鏡では見えない数nmの構造まで観察できる。
일본어 명칭: SEM(走査電子顕微鏡)
분야: 계측과 분석
이 용어가 포함된 비교
관련 용어
四探針法 欠陥検査装置 AFM(原子間力顕微鏡) CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)