量測與分析
以SEM觀察絕緣物試片時,用來防止充電(charge-up)的方法,下列何者正確?
- A降低加速電壓,或在試片表面鍍上薄導電膜
- B盡可能提高加速電壓
- C將試片浸入水中
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正確答案:A. 降低加速電壓,或在試片表面鍍上薄導電膜
對絕緣物照射電子束時,電荷無法逸散而累積,使影像扭曲或亮度紊亂。降低加速電壓後,入射電子與射出的二次電子數量較容易平衡,充電便會減少。也有在試片表面鍍上金或碳等薄導電膜,或在以氣體分子中和電荷的低真空條件下觀察的方法。提高加速電壓反而容易使充電惡化,而浸入水中則無法在真空中觀察。