什麼是APC(先進製程控制)
依據前一製程的量測結果等，自動修正下一批次或下一片晶圓之設備加工條件的控制。有Run-to-Run控制等，可縮小變異。
日文名稱: APC(先進的プロセス制御)
這個名詞所屬的領域: 良率與品質管理
相關名詞
系統性缺陷 良率 帕松良率模型 柏拉圖 致命缺陷 特性要因圖 管制圖 製程能力指數(Cpk) FMEA(失效模式與效應分析) SPC(統計製程管制)
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