量測與分析 以SEM拍攝檢測中發現的缺陷，並由該影像自動分類缺陷種類的功能是下列何者？ AATPG B自動缺陷分類（ADC） CAPC 查看答案與解析 正確答案：B. 自動缺陷分類（ADC） 缺陷檢測設備從一片晶圓有時會偵測到數千個缺陷，要調查各自的原因就必須進行種類分類。自動缺陷分類（ADC）會由檢視用SEM的影像，自動分類為異物、圖案缺陷、刮傷等，加快找出原因製程與設備。近年也運用了機器學習。ATPG是測試圖案的產生，APC則是製程的自動控制。