什麼是FIB(聚焦離子束)
以聚焦得很細的離子束對試樣進行切削或沉積膜的設備。用於微小區域的剖面加工、TEM用薄試樣的製作、電路修改等。
日文名稱: FIB(集束イオンビーム)
這個名詞所屬的領域: 量測與分析
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四點探針法 缺陷檢測設備 橢圓偏光術 AFM(原子力顯微鏡) CD-SEM(臨界尺寸掃描式電子顯微鏡) EDX(能量色散X射線光譜) SEM(掃描式電子顯微鏡) SIMS(二次離子質譜法) TEM(穿透式電子顯微鏡) TXRF(全反射X射線螢光分析)
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