蝕刻 在深孔加工等情況下，光阻單獨作為遮罩無法承受時，所使用的氮化膜或碳膜等遮罩稱為什麼？ A光罩護膜 B相移光罩 C硬遮罩 查看答案與解析 正確答案：C. 硬遮罩 在深度加工中，厚度約100 nm的光阻會在途中耗盡，因此先將光阻的圖案轉印到氮化膜、氧化膜、非晶碳膜等上，再以其作為遮罩蝕刻真正的膜層。這類無機膜等遮罩就是硬遮罩。在3D NAND的深孔加工中，會使用厚度數µm的非晶碳硬遮罩，其沉積與去除也是重要的步驟。