為了對上下導線層的對位偏差更有抵抗力，使導孔對準導線溝槽自對準形成的技術為下列何者？

正確答案：B. 自對準導孔（self-aligned via）

導線間距到達20 nm級時，導孔位置只要偏差數nm，就可能與相鄰導線短路，或因間隔變窄而發生絕緣崩潰。自對準導孔是保留加工導線溝槽時使用的硬遮罩，或在導線上表面設置材質不同的層，使導孔蝕刻被限制在目標導線的寬度之內，即使位置偏移也不會連到相鄰導線。