什麼是電鍍
在鍍液中以晶圓側為陰極通電，使金屬析出的成膜方法。用於填充銅導線的溝槽，並藉由添加劑控制使其由底部先填滿。
日文名稱: 電解めっき
這個名詞所屬的領域: 薄膜沉積（CVD與PVD）
相關名詞
反應式濺鍍 真空蒸鍍 區域選擇性沉積 旋轉塗佈 階梯覆蓋率 磁控濺鍍 靜電吸盤 濺鍍 ALD(原子層沉積) CVD(化學氣相沉積)
在鍍液中以晶圓側為陰極通電，使金屬析出的成膜方法。用於填充銅導線的溝槽，並藉由添加劑控制使其由底部先填滿。
日文名稱: 電解めっき
這個名詞所屬的領域: 薄膜沉積（CVD與PVD）
反應式濺鍍 真空蒸鍍 區域選擇性沉積 旋轉塗佈 階梯覆蓋率 磁控濺鍍 靜電吸盤 濺鍍 ALD(原子層沉積) CVD(化學氣相沉積)