電解めっき란?
でんかいめっき
めっき液の中でウエハ側を陰極にして電流を流し、金属を析出させる成膜方法。Cu配線の溝の埋め込みに使われ、添加剤で底から先に埋まるように制御する。
일본어 명칭: 電解めっき
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
관련 용어
領域選択成膜 反応性スパッタリング 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD) TEOS
でんかいめっき
めっき液の中でウエハ側を陰極にして電流を流し、金属を析出させる成膜方法。Cu配線の溝の埋め込みに使われ、添加剤で底から先に埋まるように制御する。
일본어 명칭: 電解めっき
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
領域選択成膜 反応性スパッタリング 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD) TEOS