什麼是稀釋氫氟酸(DHF)

以水稀釋氫氟酸而成的清洗液。可去除矽表面的原生氧化膜，使表面成為氫終端的疏水狀態。

日文名稱: 希フッ酸(DHF)

這個名詞所屬的領域: CMP與清洗

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