什麼是RCA清洗

以SC-1（氨水與雙氧水）去除微粒與有機物，並以SC-2（鹽酸與雙氧水）去除金屬汙染的清洗方法。

日文名稱: RCA洗浄

「RCA清洗」出現在1領域的2道練習題中（CMP與清洗等）。

這個名詞所屬的領域: CMP與清洗

練習RCA清洗的題目

RCA清洗中所使用的SC-1（氨水與雙氧水的混合液）之主要目的為下列何者？

  1. A去除金屬汙染
  2. B去除微粒與有機物
  3. C去除原生氧化膜
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正確答案：B. 去除微粒與有機物

SC-1（NH4OH:H2O2:H2O，例如1:1:5，約70 ℃）一邊以雙氧水氧化表面，一邊以氨水將該氧化膜以每分鐘約0.1～1 nm的速度緩慢溶解，藉此將微粒自下方托起而去除。在鹼性環境中，粒子與表面都帶負電而相互排斥，因此也不易再度附著。對去除有機物也有效。去除金屬汙染使用SC-2，去除原生氧化膜則使用稀釋氫氟酸。

下列關於標準RCA清洗中SC-1與SC-2的順序與目的之組合，何者正確？

  1. A先以SC-1去除微粒與有機物，再以SC-2去除金屬汙染
  2. B先以SC-2去除微粒，再以SC-1去除金屬汙染
  3. C將SC-1與SC-2混合同時使用
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正確答案：A. 先以SC-1去除微粒與有機物，再以SC-2去除金屬汙染

RCA清洗是1970年由RCA公司的Kern等人發表的方法，基本順序是先以鹼性的SC-1去除微粒與有機物，接著以酸性的SC-2（HCl:H2O2:H2O）將SC-1中容易附著的金屬汙染轉變為氯化物溶解而去除。必要時中間會以稀釋氫氟酸去除氧化膜，各步驟之間則以超純水沖洗。歷經50多年的今日，仍作為清洗的基本方法並持續改良使用。

解析中的「RCA清洗」

出現「RCA清洗」的題目（2題）

  1. RCA清洗中所使用的SC-1（氨水與雙氧水的混合液）之主要目的為下列何者？
  2. 下列關於標準RCA清洗中SC-1與SC-2的順序與目的之組合，何者正確？

相關名詞

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