RCA清洗中所使用的SC-1（氨水與雙氧水的混合液）之主要目的為下列何者？

正確答案：B. 去除微粒與有機物

SC-1（NH4OH:H2O2:H2O，例如1:1:5，約70 ℃）一邊以雙氧水氧化表面，一邊以氨水將該氧化膜以每分鐘約0.1～1 nm的速度緩慢溶解，藉此將微粒自下方托起而去除。在鹼性環境中，粒子與表面都帶負電而相互排斥，因此也不易再度附著。對去除有機物也有效。去除金屬汙染使用SC-2，去除原生氧化膜則使用稀釋氫氟酸。