CMP與清洗
下列關於標準RCA清洗中SC-1與SC-2的順序與目的之組合，何者正確？
- A先以SC-1去除微粒與有機物，再以SC-2去除金屬汙染
- B先以SC-2去除微粒，再以SC-1去除金屬汙染
- C將SC-1與SC-2混合同時使用
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正確答案：A. 先以SC-1去除微粒與有機物，再以SC-2去除金屬汙染
RCA清洗是1970年由RCA公司的Kern等人發表的方法，基本順序是先以鹼性的SC-1去除微粒與有機物，接著以酸性的SC-2（HCl:H2O2:H2O）將SC-1中容易附著的金屬汙染轉變為氯化物溶解而去除。必要時中間會以稀釋氫氟酸去除氧化膜，各步驟之間則以超純水沖洗。歷經50多年的今日，仍作為清洗的基本方法並持續改良使用。