什麼是SPM(硫酸雙氧水混合液)
硫酸與雙氧水的混合液。憑藉強氧化力，去除光阻等有機物。
日文名稱: SPM(硫酸過水)
「SPM(硫酸雙氧水混合液)」出現在1領域的4道練習題中（CMP與清洗等）。
這個名詞所屬的領域: CMP與清洗
練習SPM(硫酸雙氧水混合液)的題目
使用硫酸與雙氧水的混合液（SPM）進行清洗的主要目的為下列何者？
- A去除光阻等有機物
- B去除原生氧化膜
- C沉積銅膜
SPM（硫酸與雙氧水）清洗之後若沖洗不充分，下列何者是容易發生而廣為人知的問題？
- A表面殘留硫酸根離子等，日後成為霧狀（haze）與缺陷的原因
- B晶圓變厚
- C表面變成n型
查看答案與解析
正確答案：A. 表面殘留硫酸根離子等，日後成為霧狀（haze）與缺陷的原因
硫酸黏性高且容易吸附在表面，若沖洗不充分會殘留硫酸根離子，與空氣中的氨等反應而析出硫酸銨的微結晶，產生霧狀（haze）與缺陷。若發生在曝光用的光罩上，也曾成為降低透光率的成長性缺陷（haze）的原因。因此要以溫水充分沖洗，或改用不含硫酸的清洗方式。
解析中的「SPM(硫酸雙氧水混合液)」
SPM（H2SO4:H2O2，例如4:1，約120～150 ℃）藉由混合時產生的過氧單硫酸（卡羅酸）之強氧化力，分解並去除光阻殘渣等有機物。
使用硫酸與雙氧水的混合液（SPM）進行清洗的主要目的為下列何者？使用後會分解為氧氣，廢液處理容易，與大量使用硫酸和雙氧水的SPM等相比，可減少藥液用量與CO2排放，作為環境負荷較小的清洗方式而被採用。
使用溶有臭氧的超純水（臭氧水）進行清洗的主要目的為下列何者？針對各者組合適合的藥液（SC-1、SC-2、SPM、稀釋氫氟酸等）與物理作用力（刷洗、兆聲波）加以去除，同時也要求不損傷材料。
下列關於清洗所要去除之晶圓表面汙染種類的組合，何者正確？
出現「SPM(硫酸雙氧水混合液)」的題目（4題）
相關名詞
光阻 稀釋氫氟酸(DHF) 灰化 離子佈植 光罩(Reticle) 超純水 原生氧化膜 SC-1(APM) SC-2(HPM) 兆聲波清洗