使用溶有臭氧的超純水（臭氧水）進行清洗的主要目的為下列何者？

正確答案：C. 氧化分解並去除有機物

溶有數至數十ppm臭氧的臭氧水具有強氧化力，在常溫下即可氧化分解有機物，或在矽表面形成薄氧化膜。使用後會分解為氧氣，廢液處理容易，與大量使用硫酸和雙氧水的SPM等相比，可減少藥液用量與CO2排放，作為環境負荷較小的清洗方式而被採用。也應用於與稀釋氫氟酸交替使用的清洗。