表示晶面與晶向的朝向。以(100)這類米勒指數表示,MOSFET用的矽晶圓一般採用(100)面。
日文名稱: 結晶方位
這個名詞所屬的領域: 矽晶圓
西門子法 吸附雜質技術(Gettering) 氧析出物(BMD) 偏析係數 晶格滑移 晶棒 晶圓缺口(Notch) 監控晶圓 熱施體 頸縮(Necking)
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