磊晶成長
在用來評估磊晶層晶體品質的X光繞射搖擺曲線中，波峰半高寬很窄代表什麼？
- A晶體的傾斜、鑲嵌性及缺陷少，晶體品質良好
- B雜質濃度高
- C膜很厚
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正確答案：A. 晶體的傾斜、鑲嵌性及缺陷少，晶體品質良好
搖擺曲線是在固定偵測器位置的情況下，一點一點改變試片角度，量測特定繞射峰強度而得的曲線。晶體方向的分散（鑲嵌性）或差排多時，波峰會變寬，因此半高寬（FWHM）越窄，表示晶體品質越好。接近完美的矽為數角秒，藍寶石上的GaN則為數百角秒左右，也用於估算差排密度。
- A. 正確。表示晶體方向整齊、缺陷少。
- B. 並非雜質濃度的直接指標。
- C. 半高寬並非膜厚的直接指標。