結晶方位란?
けっしょうほうい
結晶の面や方向の向きを表すもの。(100)のようにミラー指数で表し、MOSFET用のシリコンウエハでは(100)面が一般的。
일본어 명칭: 結晶方位
분야: 실리콘 웨이퍼
관련 용어
酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング
けっしょうほうい
結晶の面や方向の向きを表すもの。(100)のようにミラー指数で表し、MOSFET用のシリコンウエハでは(100)面が一般的。
일본어 명칭: 結晶方位
분야: 실리콘 웨이퍼
酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング