矽晶圓
矽單晶最容易破裂(最容易劈裂)的晶面是哪一個？
- A{100}面
- B{111}面
- C{110}面
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正確答案：B. {111}面
矽在{111}面上切斷原子鍵結所需的能量最小，所以具有最容易沿{111}面劈裂的性質。在(100)晶圓上，容易沿著與表面垂直的{110}面出現互相垂直相交的直線裂紋，可由裂紋的方向推測晶圓的晶體方位。這個性質也被利用在折斷晶片來觀察剖面，或以手折斷晶圓的劃線(scribe)上。
- A. {100}面是(100)晶圓的表面所在的面，並不是最容易劈裂的面。
- B. 正確。最容易沿{111}面劈裂。
- C. {110}面也會劈裂，但最容易劈裂的是{111}面。