什麼是晶格滑移

大口徑晶圓在高溫熱處理時，因面內溫差或自身重量造成的應力使晶面錯位而產生差排的缺陷。可能導致微影疊對不良等。

日文名稱: スリップ

這個名詞所屬的領域: 矽晶圓