設置於矽晶圓外周的缺口(notch，小切口)，其主要作用是哪一項？

正確答案：A. 標示晶體方位的基準

缺口是位於晶圓外周、深度約1 mm的V字形切口，是標示晶體方位(例如<110>方向)的記號。設備會偵測缺口來對齊晶圓的方向，並依晶體方位以正確的方向形成圖案。由於蝕刻速度與遷移率會隨晶體方位而改變，所以這一點很重要。150 mm以下的晶圓使用將外周一部分削成直線的定向平邊(orientation flat)，後來為了減少面積的浪費而改用缺口。