什麼是西門子法
以氫氣還原三氯矽烷，使高純度多晶矽析出於加熱的矽棒上的製法。是半導體用原料矽的主要製造方法。
日文名稱: シーメンス法
「西門子法」出現在1領域的1道練習題中（矽晶圓等）。
這個名詞所屬的領域: 矽晶圓
練習西門子法的題目
高純度多晶矽的代表性製造方法是哪一種？
- A博世(Bosch)法
- B西門子法(以三氯矽烷的氫還原進行沉積)
- C鑲嵌(Damascene)法
解析中的「西門子法」
西門子法是使純度約98%的金屬矽與氯化氫反應成三氯矽烷(SiHCl3，沸點約32 ℃)，經蒸餾提高純度後，在加熱至約1100 ℃的矽棒上使其與氫反應，沉積出高純度的矽。
高純度多晶矽的代表性製造方法是哪一種？
出現「西門子法」的題目（1題）
相關名詞
矽烷(SiH4) CZ法(柴可拉斯基法) 吸附雜質技術(Gettering) 氧析出物(BMD) 偏析係數 晶格滑移 晶棒 晶圓缺口(Notch) 晶體方向 監控晶圓