什麼是偏析係數

正確答案：C. 硼(B)

要做成p型，需在熔液中添加III族元素的硼。硼的偏析係數約為0.8，接近1，晶錠上下的濃度比較一致，是容易處理的雜質。要做成n型時，則使用磷、砷、銻等V族元素。晶體的電阻率由添加量決定，LSI用多使用1〜20 Ω·cm左右的p型。

正確答案：A. 因硼容易被氧化層吸收，濃度降低

雜質在矽與 SiO2 的邊界上，兩側的濃度比（偏析係數 m = 矽中濃度／SiO2 中濃度）是固定的。硼的 m ≈ 0.3，容易被吸收到氧化層中，因此矽側表面附近的濃度會下降（pile-down）。磷與砷的 m ≈ 10，不易進入氧化層，而被推擠到矽側，使介面附近的濃度上升（pile-up）。在臨界電壓與通道濃度的設計中必須考慮這一點。