什麼是晶圓缺口(Notch)
為標示晶體方向而設在晶圓外緣的小切口。用於200 mm以上的晶圓，在此之前使用的是定向平邊（直線部分）。
日文名稱: ウエハのノッチ
「晶圓缺口(Notch)」出現在1領域的1道練習題中（矽晶圓等）。
這個名詞所屬的領域: 矽晶圓
練習晶圓缺口(Notch)的題目
設置於矽晶圓外周的缺口(notch，小切口)，其主要作用是哪一項？
- A標示晶體方位的基準
- B使晶圓變輕
- C排出清洗液
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正確答案：A. 標示晶體方位的基準
缺口是位於晶圓外周、深度約1 mm的V字形切口，是標示晶體方位(例如<110>方向)的記號。設備會偵測缺口來對齊晶圓的方向，並依晶體方位以正確的方向形成圖案。由於蝕刻速度與遷移率會隨晶體方位而改變，所以這一點很重要。150 mm以下的晶圓使用將外周一部分削成直線的定向平邊(orientation flat)，後來為了減少面積的浪費而改用缺口。
出現「晶圓缺口(Notch)」的題目（1題）
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