量測與分析
結合多種不同的量測手法（光學式、CD-SEM、AFM等）的資料，比僅用單一手法更準確地求出尺寸或形狀的想法，稱為什麼？
- A盲測量測
- B混合式計量（hybrid metrology）
- C單次擷取
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正確答案：B. 混合式計量（hybrid metrology）
在先進的微細結構中，僅憑單一量測手法，可量測的量與精度都有極限。混合式計量例如將以XRR精確求得的膜厚，作為固定值輸入光學式尺寸量測（OCD）的分析模型，穩定地求出其餘的形狀值，彼此彌補弱點而獲得更準確的結果。重要的是看清各手法擅長的量並加以結合。
- A. 這不是這種名稱的一般量測想法。
- B. 正確。是結合多種手法以提高精度的想法。
- C. 這不是這種名稱的一般量測想法。