以細針沿試片表面描掃，由針的上下運動量測段差高度或表面形狀的設備是下列何者？

正確答案：B. 觸針式段差儀（輪廓儀）

觸針式段差儀是以前端細小的針，用固定的微弱力沿表面描掃，由針的上下位移量測段差高度與表面的起伏。用於確認蝕刻深度、膜的段差、CMP後大範圍的平坦性等。其解析度雖比AFM粗，但特長是能掃描毫米等級的長距離。質譜儀是量測成分的設備，橢偏儀是量測膜厚的設備。

• A. 質譜儀是由離子的質量調查成分的設備。
• B. 正確。以針沿表面描掃來量測段差。
• C. 橢偏儀是由光偏振的變化量測膜厚的設備。