AFM(原子間力顕微鏡)란?
えーえふえむ
鋭い探針で試料の表面をなぞり、探針と表面の間に働く力から表面の微細な凹凸を測る顕微鏡。表面の粗さの評価などに使われる。
일본어 명칭: AFM(原子間力顕微鏡)
분야: 계측과 분석
えーえふえむ
鋭い探針で試料の表面をなぞり、探針と表面の間に働く力から表面の微細な凹凸を測る顕微鏡。表面の粗さの評価などに使われる。
일본어 명칭: AFM(原子間力顕微鏡)
분야: 계측과 분석
四探針法 欠陥検査装置 CD-SEM EDX(エネルギー分散型X線分光) FIB(集束イオンビーム) SEM(走査電子顕微鏡) SIMS(二次イオン質量分析法) TEM(透過電子顕微鏡) TXRF(全反射蛍光X線分析) XPS(X線光電子分光法)