以AFM量測非常窄的溝槽或陡峭側壁的形狀時，容易成為誤差原因的是下列何者？

正確答案：B. 由於探針前端的粗細與形狀是有限的，量得的形狀會疊上探針的形狀而被呈現出來

AFM是以探針沿表面描掃來量測形狀，因此探針前端無法探到比它更細的溝槽底部，而在陡峭的側壁上則是探針的側面先接觸。結果量得的形狀是實際形狀與探針形狀的疊合，溝槽看起來較淺較窄，線條看起來較粗。因此要使用前端較細的探針，或前端向橫向擴展的側壁量測用探針，並進行推估探針形狀來補正的分析。

• A. AFM在大氣中也能使用。
• B. 正確。探針的形狀會疊加在量測結果上。
• C. AFM是量測表面凹凸的設備。