量測與分析 相對於SIMS量測的是雜質的原子濃度，量測電性活化的載子濃度之深度方向分布的方法，下列何者正確？ AEDX B原子力顯微鏡（AFM） C擴展電阻量測（SRP）等電性量測 查看答案與解析 正確答案：C. 擴展電阻量測（SRP）等電性量測 擴展電阻量測是將試片以淺角度斜向研磨以拉長深度方向，並一邊逐步移動2根探針一邊接觸量測電阻，藉此求出載子濃度的深度方向分布。SIMS量測的是包含未活化雜質在內的原子濃度，因此比較兩者即可得知活化的比例。EDX是調查元素的方法，AFM是調查形狀的方法。