歩留まりとは

ぶどまり

投入した数に対する良品の割合。半導体の製造コストに大きく影響する指標。

チップ面積と歩留まり（欠陥の位置は同じ） 小さいチップ ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,, 大きいチップ ,,, ,,,,,,,,,,, 良品 18 / 24（75%） 良品 1 / 4（25%） 欠陥 欠陥を含む不良チップ

この用語の分野: 歩留まり・品質管理

解説の中の「歩留まり」

「歩留まり」が出てくる問題(38問)

  1. DRAMの歩留まりを上げるために使われる冗長救済の説明として正しいものはどれか。
  2. 1枚のウエハから500個のチップが取れ、そのうち450個が良品だった。このウエハの歩留まりはいくらか。
  3. 欠陥密度が同じ条件で、チップ面積を大きくすると歩留まりは一般にどうなるか。
  4. 歩留まり低下の要因のうち、設計と製造工程の相性などによって、特定のパターンで繰り返し発生する不良を何と呼ぶか。
  5. ポアソンモデル Y = exp(−D × A) で、欠陥密度D = 0.1個/cm²、チップ面積A = 1 cm²のとき、歩留まりはおよそいくらか。
  6. 新しいプロセスの立ち上げ以降、不良原因の解析と対策を重ねることで、歩留まりが時間とともに向上していく様子を表したものを何と呼ぶか。
  7. 1枚のウエハに600個のチップがあり、歩留まりが80%のとき、良品チップの数はいくつか。
  8. ウエハ工程の歩留まりが95%、ウエハテストの歩留まりが90%のとき、両者を掛け合わせた総合歩留まりはおよそいくらか。
  9. 歩留まりのデータを分析するときの注意点として、「2つの量に相関があっても、一方が他方の原因とは限らない」ことを示す例として正しいものはどれか。
  10. 工場に蓄積された大量の装置データ・計測データ・テスト結果を、機械学習などで解析して歩留まりを高める取り組みの説明として正しいものはどれか。
  11. 欠陥がウエハ上で偏って集まって発生する(クラスタリングする)ことを考慮した歩留まりモデルとして使われるものはどれか。
  12. 歩留まりの低いロットに共通して使われた装置やチャンバー、材料などを、多数のロットの製造履歴から統計的に洗い出す解析を何と呼ぶか。
  13. アナログ回路の設計で、製造のばらつきによるトランジスタの特性の変化をランダムに何度も与えてシミュレーションし、性能の分布や歩留まりを見積もる手法はどれか。
  14. マイクロLEDディスプレイの特徴として正しいものはどれか。
  15. ウエハの表面や裏面に刻むレーザーマーク(IDマーク)の目的はどれか。

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