キラー欠陥とは
きらーけっかん
チップを不良にしてしまう欠陥。配線のショートや断線を起こす大きさ・位置の粒子やパターン異常など。
この用語の分野: 歩留まり・品質管理
解説の中の「キラー欠陥」
エピ層中の基底面転位や表面欠陥はキラー欠陥やバイポーラ劣化の原因になるため、欠陥を減らすことが歩留まりと信頼性の鍵です。
SiCパワーデバイスの製造でエピタキシャル層が重要な理由として正しいものはどれか。配線間をつなぐ位置にある大きな異物のように、電気的な不良を引き起こす欠陥をキラー欠陥といいます。
ウエハ上の欠陥のうち、実際にチップの電気的な不良を引き起こすものを何と呼ぶか。
「キラー欠陥」が出てくる問題(2問)
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