ウエハの表面や裏面に刻むレーザーマーク(IDマーク)の目的はどれか。

正解：C. ウエハ1枚ごとを識別し、工程の履歴を追跡できるようにするため

ウエハにはレーザーで固有の番号などが刻印されます。装置はこれを読み取ってウエハを識別し、どの装置でどのような条件で処理されたかを記録します。不良が見つかったときに原因の工程や装置をさかのぼって調べるのに役立ちます。