歩留まり・品質管理
歩留まりの低いロットに共通して使われた装置やチャンバー、材料などを、多数のロットの製造履歴から統計的に洗い出す解析を何と呼ぶか。
- A等価回路解析
- Bコモナリティ解析(共通性解析)
- Cラマン分光
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正解:B. コモナリティ解析(共通性解析)
コモナリティ解析では、不良の多いロットと正常なロットの製造履歴を比べ、不良ロットに共通して使われた装置・チャンバー・材料・時期などを統計的に探します。多数の工程の中から原因の候補を絞り込むのに有効です。
- A. 等価回路解析は回路の特性を表すモデルをつくる手法です。
- B. 正しい。不良ロットに共通する要因を洗い出す解析です。
- C. ラマン分光は応力などを測る分光法です。