歩留まり・品質管理

欠陥密度が同じ条件で、チップ面積を大きくすると歩留まりは一般にどうなるか。

  1. A低下する
  2. B向上する
  3. C変化しない
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正解:A. 低下する

ポアソンモデルでは、歩留まりは Y = exp(-D × A)(D:欠陥密度、A:チップ面積)で表されます。面積が大きいほどチップに欠陥が含まれる確率が上がるため、歩留まりは下がります。大きなチップを複数の小さなチップに分けるチップレットが注目される理由の一つです。

チップ面積と歩留まり(欠陥の位置は同じ) 小さいチップ ,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,,, ,,,,,,,,,,, 大きいチップ ,,, ,,,,,,,,,,, 良品 18 / 24(75%) 良品 1 / 4(25%) 欠陥 欠陥を含む不良チップ
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