イオン注入 アニールでドーパントを活性化させるとき、電気的に活性化できる濃度の上限を決める性質はどれか。 A固溶度 B移動度 C誘電率 答えと解説を見る 正解：A. 固溶度 結晶中に溶け込める不純物の最大濃度を固溶度といいます。固溶度を超える濃度で注入しても、余った不純物は析出したりクラスターをつくったりして、電気的に活性になりません。短時間で高温にするアニールでは、一時的に固溶度を超える活性化が得られることもあります。