スパイクアニールとは
すぱいくあにーる
ウエハを急速に高温まで上げ、その温度にほとんど保持せずにすぐ下げる熱処理。不純物の拡散を抑えながら活性化でき、浅い接合の形成に使われる。
この用語の分野: イオン注入
解説の中の「スパイクアニール」
さらにアニールで不純物が拡散して接合が深くならないよう、最高温度で保持せずにすぐ下げるスパイクアニール(約1050 ℃、秒以下)や、ミリ秒以下で表面だけを加熱するフラッシュランプアニール・レーザーアニールを使い、拡散を数nmに抑えながら活性化させます。
微細なトランジスタのソース・ドレインに浅い接合をつくるための工夫として正しいものはどれか。浅い接合の妨げになるため、急速に高温にするスパイクアニールや炭素の共注入で抑えます。
イオン注入後のアニールの初期に、注入で生じた格子間シリコンの影響で、ボロンなどの拡散が一時的に速くなる現象を何と呼ぶか。
「スパイクアニール」が出てくる問題(2問)
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