nMOSのチャネルに急峻なレトログレード分布をつくるために、ボロンより重いp型不純物として検討・使用されてきた元素はどれか。

正解：A. インジウム

インジウムはIII族のアクセプタで、ボロンよりはるかに重く拡散も遅いため、浅い位置で止まり、熱処理後も急峻な分布を保てます。そのため、表面は低濃度で少し深い位置で高濃度になるレトログレードのチャネル分布をつくるのに使われました。ただし活性化しにくいという欠点があります。

• A. 正しい。重くて拡散の遅いp型不純物です。
• B. ヒ素はn型の不純物です。
• C. リンはn型の不純物です。