シャドウイングとは
しゃどういんぐ
ウエハを傾けてイオン注入するとき、レジストなどの高いパターンの陰になって注入されない部分ができる現象。
この用語の分野: イオン注入
解説の中の「シャドウイング」
チャネリング対策やハロー注入でウエハを傾けて注入すると、背の高いレジストやゲートの陰になる部分にはイオンが届かなくなります(シャドウイング)。
ウエハを傾けてイオン注入を行う際に、レジストなどの高いパターンの陰になって注入されない部分ができる現象を何と呼ぶか。そのため、溝の上面や入り口には膜がつきやすい一方、溝の側壁や底のように入り口から見通せない部分には届きにくくなります(シャドウイング)。
スパッタリングや蒸着などのPVDで、深い溝の側壁や底に膜がつきにくい主な理由はどれか。
「シャドウイング」が出てくる問題(2問)
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