固溶度란?

こようど

ある温度で、結晶の中に溶け込める不純物の最大の濃度。電気的に活性化できるドーパントの濃度の上限を決める。

일본어 명칭: 固溶度

분야: 이온 주입

관련 용어

過渡増速拡散(TED) 投影飛程 アニール イオン注入 シャドウイング スパイクアニール チャネリング ドーズ量 ハロー注入(ポケット注入) ファラデーカップ

용어집으로 돌아가기