こようど
ある温度で、結晶の中に溶け込める不純物の最大の濃度。電気的に活性化できるドーパントの濃度の上限を決める。
일본어 명칭: 固溶度
분야: 이온 주입
過渡増速拡散(TED) 投影飛程 アニール イオン注入 シャドウイング スパイクアニール チャネリング ドーズ量 ハロー注入(ポケット注入) ファラデーカップ
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